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在纳米压印技术中,对准技术(Alignment Technology)是至关重要的环节,对准精度直接影响到器件的性能和良率。新维度技术团队拥有高精度地对准压印能力,可以实现纳米级的高精度对准,可有效减少产品缺陷,提高生产良率,降低制造成本。
图示:6英寸晶圆范围内实现对准精度: 小于1微米
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